電子工業廢氣VOCS主要來源于對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工序。一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點，電子工業廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些氣體。

電子廠廢氣處理方法（1）預處理階段：一般采用噴淋塔先對廢氣進行預處理，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。（2）主要處理階段：在此階段，比較常見而有效方法有：UV光解，活性炭吸附、生物過濾分解，焚燒和催化燃燒等。

丹陽電子廠廢氣處理工藝電子廠廢氣處理行業里不斷的實行者，我們經過多年的實踐和總結，今天和大家分享一下活性炭吸附塔的相關資料。

活性炭吸附塔又可稱為活性炭吸附器、活性炭吸附過濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過濾吸附異味的環保設備產品，活性炭吸附塔塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等材質制作。活性炭吸附塔具有吸附效率高、適用面廣、維護方便、能同時處理多種混合廢氣等優點，活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害氣體和消毒除臭等作用。

電子工業從產品來分的話，自上而下可以分為電子整機產品和電子基礎產品，還有電子材料等三個部分，其中包含有：光電器件、半導體器件、電子元件及電子終端產品等方面。電子廠廢氣的主要來源是對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工藝環節所用有機溶劑所致。電子工業廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。

丹陽電子廠廢氣處理工藝的幾種方法進行簡單介紹一下：

1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；

2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求；

3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；

4、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數十倍強度）在設備內，強裂解惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等；

5、高溫等離子凈化法：經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物凈化率在90%左右。