電子車間廢氣處理-杭州

　　電子工業有機廢氣VOCs的排放，對大氣質量、人體健康以及周邊生活環境的危害都較大，對該類污染物進行有效控制和治理問題也愈發重要。電子工業從產品產業鏈劃分，自上而下分為電子整機產品、電子基礎產品和電子材料三個層次。其中涵蓋：電子材料、半導體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產品等5個方面。

　　電子工業是VOCs排放的主要行業之一，電子工業廢氣VOCs排放種類有30多種，組分復雜。電子工業廢氣VOCS主要來源于對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工藝環節所用有機溶劑所致。電子工業廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯。

　　一般來說，廢氣排放中風量較大，VOCs濃度較低。半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點。電子工業廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有體。

　　揮發性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜，常見有機廢氣治理方法如：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨運用或無法達成經濟高效運行，或不能滿足嚴苛的排放標準。

　　焚燒法(RTO)：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣。

　　吸附法(活性炭)：投資小、工藝簡單，易飽和，必須與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求。

　　冷凝法：與吸收、吸附等方法聯用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果。

　　沸石轉輪濃縮+焚燒法：沸石轉輪濃縮設備基本依靠進口，自主產品尚不成熟。該方案同樣與生產設備、生產工藝存在匹配關系。

　　低溫等離子、光催化氧化法：揮發性有機物處理效率低，只能作為輔助性的治理手段。

高溫等離子焚燒技術是高頻(30KHz)高壓(100KV)大功率電源在特定條件下的聚能放電，產生3千℃等離子態高溫氣流。

　　有機廢氣在反應器中經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物清除率大于98%。

　　高溫等離子焚燒裝置無需濃縮，便可直接處理低濃度、大風量有機廢氣。每處理1萬立方米/小時有機廢氣，僅消耗10kW電力。

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電子工業從產品來分的話，自上而下可以分為電子整機產品和電子基礎產品，還有電子材料等三個部分，其中包含有：光電器件、半導體器件、電子元件及電子終端產品等方面。電子廠廢氣的主要來源是對電子產品的表面涂層工藝環節所用溶劑型涂料和清洗工藝環節所用有機溶劑所致。電子工業廢氣VOCS常見的種類有：異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯。

對于這種排放量大、濃度低、成分復雜的廢氣，比較常用的廢氣處理方法有：焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等，單獨使用的話有可能無法達成經濟運行，或不能滿足嚴苛的排放標準，以下對于電子廠車間廢氣處理的幾種方法進行簡單介紹一下：

1、焚燒法（RTO）：能耗大、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；

2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求；

3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；

5、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數十倍強度）在設備內，強裂解惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等；

6、高溫等離子凈化法：經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物凈化率在90%左右。

常州藍陽環保有限公司主要產品有：低溫等離子廢氣凈化器、光氧催化廢氣凈化設備、活性炭吸附箱、催化燃燒設備、脈沖式濾筒除塵器、脈沖式布袋除塵器、噴淋凈化塔、焊接煙塵凈化器等，我公司生產的環保設備廣泛應用于電路板廠、電子廠、半導體廠、光伏新能源等行業，并得到了廣大企業的好評，已經為上千家企業實施了廢氣治理項目。

1、焚燒處理（RTO）：耗能大、運作費用高，適宜解決濃度較高的、小風速有機氣體；

2、活性炭吸附法（活性碳）：小投資、加工工藝簡易，易飽和，必須與解吸、冷凝、焚燒處理等方法合用方能達到排放量標準；.

、冷凝法：與吸收、活性炭吸附等辦法合用，將有機氣體活性炭吸附萃取后冷凝、提取，回收當中有使用價值的有機化合物。這種方法常用濃度值高、風速小的有機廢氣治理場合。

弊端是：投資、耗能、運作成本高，冷凝回收物提純解決后，仍有很大部分液體廢料必須進一步處理。

4、沸石轉輪萃取+焚燒處理：沸石轉輪濃縮設備主要依賴進口的，自主機器設備暫不成熟。該加工工藝同樣與生產設備、制作工藝存有匹配關系；

5、光催化氧化法：使用C波段（僅低于切割不銹鋼板的激光，強過氬弧焊光源的數十倍強度）在機器設備內，強裂解惡臭味成分分子鏈，轉變成分結構，將高分子材料污染源成分，裂解、氧化變成低分子無害成分，如水和二氧化碳等；

6、高溫等離子技術凈化處理法：通過壓縮、高壓聚能充放電變成高溫等離子技術。反應器壓力增大，廢氣容積大幅度膨脹，在高溫、高電勢的雙向作用下，有機氣體瞬間(萬分之5秒)變成高溫等離子技術，當中長分子鏈裂解成單質原子，有機化合物凈化率在90%上下。